Комбинированные установки магнетронного и термического напыления

Комбинированная установка магнетронного и термического напыления

Производитель: Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd.

Установка имеет одну камеру напыления с одним DC магнетроном и одним резистивным испарителем с температурой нагрева ≤ 1500 °C.

Технические характеристики:

Диаметр мишени (мм)	50
Диаметр держателя подложки (мм)	150
Температура держателя подложки (°C)	≤ 500
Скорость вращения держателя (об/мин)	0 - 20
Мощность DC магнетрона (Вт)	500
Температура испарителя (°C)	1500
Материал камеры	Нержавеющая сталь

Кат. №		Модель	Цена (руб.)
		CY-MSE325S-2TA1S