Установка состоит из трёх камер - загрузочной камеры для образцов, камеры импульсного лазерного напыления с шестью мишенями и камеры магнетронного напыления с одним DC и одним RF магнетронами.
Камеры изготовлены из нержавеющей стали.
Перенос образцов между камерами осуществляется магнитными толкателями.
Функции и технические характеристики:
| Загрузочная камера |
- Диаметр загружаемых образцов 50,8 мм
- Температура держателя подложки ≤300°C
- Функция плазменной очистки подложки с рабочими газами водородом или кислородом
- Два магнитных толкателя для переноса образцов в напылительные камеры
- Предельный вакуум 10-5 Па
|
| Камера импульсного лазерного напыления |
- Шесть держателей мишеней диаметром 50,8 мм
- Два канала для подачи газа (волород, кислород) с расходомерами
- Температура держателя подложки ≤800°C
- Скорость вращения держателя подложки 0 - 30 об/мин
- Предельный вакуум 10-7 Па
- Отражающая электронная дифракционная пушка с люминесцентным экраном. Энергия электронов 25 КэВ
|
| Камера магнетронного напыления |
- Один DC магнетрон 1000 Вт и один RF магнетрон 500 Вт
- Аргонная ионная пушка. Энергия ионов 0 - 2 КэВ
- Температура держателя подложки ≤800°C
- Скорость вращения держателя подложки 0 - 30 об/мин
- Предельный вакуум 10-7 Па
- Кварцевый толщиномер. Частота колебаний 6 МГц
|