Комбинированные установки плазменного и термического напыления

Производитель: Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd.

Установки имеют один держатель мишеней для плазменного распыления и один резистивный испаритель с температурой нагрева ≤ 1700 °C.

Технические характеристики:

Модель	CY-EVS180G-LV	CY-EVS180S-HV	CY-EVZ270-I-HP-SS
Изображение
Диаметр мишени (мм)	50
Диаметр держателя подложки (мм)	80	65	150
Температура держателя подложки (°C)	-		≤ 500
Скорость вращения держателя (об/мин)	-		0 - 20
Ток разряда (мА)	50
Вакуум (Па)	0,1	5*10^-5
Температура испарителя (°C)	1700
Материал камеры	Кварц	Нержавеющая сталь

Модель	Ø мишени (мм)	Ø держателя (мм)	Скорость вращения держателя (об/мин)	Т держателя (°C)	Ток разряда (мА)	Напряжение (В)	Вакуум (Па)	T испарителя (°C)	Материал камеры
CY-EVS180G-LV	50	80			50	1200	0,1	1700	Кварц
CY-EVS180S-HV	50	65			50	1200	5,0×10-5	1700	Нерж. сталь
CY-EVZ270-I-HP-SS	50	150	0 — 20	≤ 500	50	1200	5,0×10-5	1700	Нерж. сталь