Установки магнетронного напыления на порошки

В камерных установках порошок помещается на вибростол, который вибрирует в процессе напыления. Частицы порошка постоянно меняют свою ориентацию по отношению к мишени, что способствует равномерному покрытию частиц.

Трубчатые установки спроектированы на основе трубчатых вращающихся печей. При вращении реактора частицы порошка постоянно меняют свою ориентацию по отношению к мишени, что способствует равномерному покрытию частиц.