Поточная установка магнетронного напыления имеют модульную конструкцию и состоят из загрузочных камер, камер напыления с мощными DC и RF магнетронами и камеры выгрузки. Камеры отделены друг от друга заслонками. Перенос образцов между камерами осуществляется с помощью специального манипулятора. Основные параментры установки приведены в таблице. Установка может быть адаптирована под конкретные требования конечного пользователя.