Установки с мощными DC и RF магнетронами с возможностью установки до четырёх мишеней и дополнительными функциями. Камера напыления отделена от загрузочного шлюза автоматической заслонкой. Наличие шлюза предварительной откачки позволяет достичь высоких показателей по вакууму, что улучшает качество плёнки. Перенос образцов между шлюзом и камерой осуществляется с помощью специального манипулятора. Основные параментры установок приведены в таблице. Установки могут быть адаптированы под конкретные требования конечного пользователя.

Дополнительные функции: