Однокамерные установки магнетронного напыления

Производитель: Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd.

Однокамерные установки с мощными DC и RF магнетронами с возможностью установки до четырёх мишеней и дополнительными функциями. Основные параментры установок приведены в таблице. Установки могут быть адаптированы под конкретные требования конечного пользователя.

Дополнительные функции:

Измерение толщины плёнки
Напряжение смещения на подложку
Очистка мишени
Порты для ввода реакционных газов

	Модель	Тип источников (RF, DC), Мощность (Вт)	Ø мишеней (мм)	Размеры камеры (мм)	Вакуум (Па)	Размеры держателя подложки (мм)	Тип движения держателя	Температура держателя (°C)
Установки с одной мишенью
	CY-MSH300-I-RF-SS	RF500x1	50,8	Ø300x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH500X-I-DC-SS	DC500x1	50,8	500x550х420	9×10-4	Ø200	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH500X-I-DC-SS-P	DC1500x1	101,6	500x550х420	5×10-4	Ø360	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH300X-I-DC-SS	DC1500x1	25,4; 50,8; 76,2	Ø300x300	5×10-2	Ø185	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSP300S-DC-Q	DC500x1	50,8	Ø300x300	5×10-3	Ø185	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH300-I-DC-SS	DC500x1	50,8	Ø300x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
Установки с двумя мишенями
	CY-MSZ210-II-DCRF-SS	DC500x1; RF500x1	50,8	Ø210x230	5×10-3	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSV300-II-RFRF-SS	RF300х2	25,4, 50,8	Ø300x300	5×10-5	Ø185	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH300-II-RFRF-SS	RF300х2	50,8	Ø300x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSV325-II-DCDC-SS	DC500х2	50,8	Ø325x500	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSV300-II-DCDC-SS	DC500х2	50,8	Ø300x300	5×10-4	Ø140	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH300-II-DCDC-SS	DC500х2	50,8	Ø330x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH500X-II-DCRF-SS	DC500x1; RF500x1	50,8	500x550х420	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦850
	CY-MSH325-II-DCRF-SS-ZD	DC500x1; RF500x1	50,8	Ø325x500	5×10-4	Ø150	Вибрация 20 Гц — 20 КГц
	CY-MSH500-II-DCRF-SS	DC500x1; RF500x1	50,8 (снизу)	Ø500x490	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH500S-100F-II-DCRF-SS	DC500x1; RF500x1	50,8	Ø500x490	5×10-4	100х100	Перемещение ±100 мм
	CY-MSV300- II-DCRF-SS	DC1000x1; RF500x1	50,8	Ø300x300	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSV325- II-DCRF-SS	DC500x1; RF500x1	50,8	Ø325x500	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦600
	CY-MSH300-II-DCRF-SS	DC500x1; RF500x1	50,8	Ø300x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-VTC-600-2HD	DC500x1; RF600x1	50,8	Ø300x300	5×10-4	Ø140	Вращение ≦20 об/мин	≦500
Установки с тремя мишенями
	CY-MSH1000-III-RFRFRF-SS	RF500х3	101,6	Ø1000x800	5×10-3	632х750	Вращение ≦20 об/мин
	CY-MSV300-III-RFRFRF-SS	RF300х3	50,8	Ø300x350	5×10-5	Ø50	Вращение ≦20 об/мин	≦600
	CY-MSH325-III-RFRFRF-UPS-SS	RF300х3	50,8	Ø325x385	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦700
	CY-MSH300-III-RFRFRF-SS	RF500х3	50,8	Ø300x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH300-III-DCDCDC-SS	DC500х3	50,8	Ø300x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ325-III-DCDCDC-SS	DC500x3	50,8	Ø325x500	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH325-III-DCDCRF-SS	DC500х2; RF500x1	50,8	Ø325x500	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦850
	CY-MSH300-III-DCDCRF-SS	DC500х2; RF500x1	50,8	Ø300x340	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSH500X-III-DCDCRF-SS	DC500х2; RF500x1	50,8	500x550х420	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦600
Установки с четырьмя мишенями
	CY-MSH500X-IV.-DCDCRFRF-SS	DC500х2; RF500х2	50,8	500x550х420	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦850
	CY-MSH500X-IV.-DCDCRFRF-SS	DC1000х2; RF1000x2	50,8	500x550х420	5×10-4	Ø150	Вращение ≦20 об/мин	≦900