Настольные установки магнетронного напыления

Производитель: Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd.

Компактные установки с DC и RF магнетронами с возможностью установки до трёх мишеней и дополнительными функциями. Основные параментры установок приведены в таблице. Установки могут быть адаптированы под конкретные требования конечного пользователя.

Дополнительные функции:

Измерение толщины плёнки
Напряжение смещения на подложку
Очистка мишени

	Модель	Тип источников (RF, DC), Мощность (Вт)	Расположение мишеней	Материал камеры	Размеры камеры (мм)	Вакуум (Па)	Размеры держателя подложки (мм)	Тип движения держателя	Температура держателя (°C)	Дополнительные функции
Установки с одной мишенью
	CY-MSZ190-1-RF-SS	RF300x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø186x230	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500	Толщиномер
	CY-MSZ180-1-DC-Q	DC300x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ180-1-DC-Q-B	DC300x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500	Напряжение смещения
	CY-MSZ180-1-DC-Q-T	DC300x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500	Толщиномер
	CY-MSZ180-1-DC-Q-TC	DC500x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500	Очистка мишени
	CY-MSZ180-1-DC-Q-LP	DC150x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ180-1-DC-Q-HV	DC150x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-5	Ø138	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ180-1-DC-Q-SV	DC300x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вибрация 20 Гц — 20 КГц
	CY-MSP180G-PST	DC500x1	Сверху	Нержавеющая сталь / Кварц	Ø180x100	1,0×10-4	Ø50	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ180-60Q-I-DC-Q	DC300x1	Сверху	Кварц	Ø180x150	1,0×10-4	Ø60	Вращение ≦20 об/мин, наклон	≦500
	CY-MSZ180-50F-DC-Q	DC150x1	Сверху	Кварц	Ø180x215	1,0×10-5	50х100	Возвратно-поступательное 0~50 мм/с
	CY-MSZ180X-I-DC-SS	DC500x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ190-1-DC-SS-D	DC300x1	Снизу	Нержавеющая сталь	Ø186x230	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ190-1-DC-SS	DC300x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø186x230	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ194-I-DC-SS	DC500x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø194x263	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ194-I-RF-SS	RF300x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø194x263	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ200-I-DC-AL	DC500x1	Сверху	Алюминиевый сплав	Ø200x150	1,0×10-1	Ø50	Вращение ≦20 об/мин, наклон		Наклон подложки
	CY-MSZ254-I-DC-SS	DC300x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø254x300	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
Установки с двумя мишенями
	CY-MSZ180-II-RF-SS	RF500х2	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø180x215	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500	Толщиномер
	CY-MSZ254-II-DCDC-SS	DC500х2	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø254x300	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
	CY-MSZ254-II-DCRF-SS	DC500x1; RF500x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø254x300	1,0×10-4	Ø100	Вращение ≦20 об/мин	≦500
Установки с тремя мишенями
	CY-VTC-3RF	RF100x1	Сверху	Нержавеющая сталь	Ø300x300	1,0×10-4	Ø185	Вращение ≦10 об/мин	≦500