Установки магнетронного напыления на подложки

Компактные установки с DC и RF магнетронами с возможностью установки до трёх мишеней и дополнительными функциями.

Однокамерные установки с мощными DC и RF магнетронами с возможностью установки до четырёх мишеней и дополнительными функциями.

Установки с мощными DC и RF магнетронами с возможностью установки до четырёх мишеней и дополнительными функциями. Основная камера отделена от загрузочного шлюза автоматической заслонкой. Наличие шлюза предварительной откачки позволяет достичь высоких показателей по вакууму, что улучшает качество плёнки. Перенос образцов между шлюзом и камерой осуществляется с помощью специального манипулятора.

Поточные установки магнетронного напыления имеют модульную конструкцию и состоят из загрузочных камер, камер напыления с мощными DC и RF магнетронами и камеры выгрузки. Камеры отделены друг от друга заслонками. Перенос образцов между камерами осуществляется с помощью специального манипулятора.