В установках пламенного пиролизного напыления (LF-FSP) раствор прекурсора распыляется головкой с соплом, в которое нагнетается сжатый воздух.
Далее, пары прекурсора разлагаются в зоне пламенного факела и осаждаются на подложку, где формируется твёрдое покрытие.
Технические характеристики:
| Размеры держателя подложки (мм) |
175 х 175 |
| Температура держателя подложки (°C) |
≤ 500 |
| Способ дозирования прекурсора |
Шприцевые насосы |