В вакуумных установках пиролизного напыления раствор прекурсора распыляется головкой ультразвукового распылителя или головкой с соплом, в которое нагнетается сжатый воздух.
Далее, пары прекурсора осаждаются на подложку, где формируется твёрдое покрытие.
При пониженном давлении снижается температура реакции разложения, что предотвращает возможные нежелательные вторичние реакции.
Технические характеристики:
| Модель |
CY-TSC-200*200-T |
CY-VTSC-200X200-T |
MSK-SP-04-HT |
| Изображение |
|
|
|
| Размеры держателя подложки (мм) |
Ø 200 |
36 подложек Ø 18 |
| Температура держателя подложки (°C) |
≤ 1000 |
≤ 500 |
| Параметры УЗ распылителя (Частота, мощность) |
50 КГц, 30 ВТ |
- |
120 КГц, 150 Вт |
| Количество сопел для сжатого воздуха |
- |
3 |
1 |
| Способ дозирования прекурсора |
Шприцевые насосы |