В атмосферных установках пиролизного напыления раствор прекурсора распыляется головкой ультразвукового распылителя или головкой с соплом, в которое нагнетается сжатый воздух.
Далее, пары прекурсора осаждаются на подложку, где формируется твёрдое покрытие.
Технические характеристики:
| Модель |
CY-TSC-150X150-T |
CY-AUS |
CY-TSC-250X250-T |
CY-LUP |
| Изображение |
|
|
|
|
| Размеры держателя подложки (мм) |
150 х 150 |
250 х 250 |
| Температура держателя подложки (°C) |
≤ 500 |
| Параметры УЗ распылителя (Частота, мощность) |
50 КГц, 30 ВТ |
40 КГц, 130 Вт |
50 КГц, 30 Вт |
40 КГц, 130 Вт |
| Количество сопел для сжатого воздуха |
- |
2 |
- |
2 |
| Способ дозирования прекурсора |
Шприцевой насос |