►
◄
Каталог:
Установки пиролизного напыления
Технология пиролизного напыления покрытий основывается на процессе распыления раствора прекурсора на нагретую поверхность, где происходит термическое разложение молекул прекурсора и реакция с образованием твёрдого покрытия.
- Атмосферные установки пиролизного напыления
- Вакуумные установки пиролизного напыления
- Установки пламенного пиролизного напыления (LF-FSP)
Атмосферные установки пиролизного напыления
В атмосферных установках пиролизного напыления раствор прекурсора распыляется головкой ультразвукового распылителя или головкой с соплом, в которое нагнетается сжатый воздух.
Далее, пары прекурсора осаждаются на подложку, где формируется твёрдое покрытие.
Вакуумные установки пиролизного напыления
В выкуумных установках пиролизного напыления раствор прекурсора распыляется головкой ультразвукового распылителя или головкой с соплом, в которое нагнетается сжатый воздух.
Далее, пары прекурсора осаждаются на подложку, где формируется твёрдое покрытие. При пониженном давлении снижается температура реакции разложения, что предотвращает возможные нежелательные вторичние реакции.
Установки пламенного пиролизного напыления (LF-FSP)
В установках пламенного пиролизного напыления (LF-FSP) раствор прекурсора распыляется головкой с соплом, в которое нагнетается сжатый воздух.
Далее, пары прекурсора разлагаются в зоне пламенного факела и осаждаются на подложку, где формируется твёрдое покрытие.