В установках катодно-дугового напыления (Arc-PVD) исходный материал испаряется при протекании тока дуги, возникающей между мишенью, являющейся катодом, и специальным электродом.
Локальная температура в области взаимодействия дуги с мишенью, называемой катодным пятном, может достигать 15000 °C, что приводит к интенсивному испарению атомов мишени и высокой скорости роста плёнки.
Технические характеристики:
| Модель |
CY-MIOP400S-2TA |
CY-MIOP500S-2TA |
| Изображение |
|
|
| Размеры вакуумной камеры (ØхВ, мм) |
300 х 400 |
500 х 490 |
| Число держателей мишеней |
2 |
| Диаметр мишеней (мм) |
75 |
| Число держателей образцов |
4 |
6 |
| Число газовых линий |
2 |