Установки с резистивными испарителями

Установки термического напыления с резистивными испарителями

Производитель: Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd.

В установках термического напыления с резистивными испарителями исходный материал испаряется при нагревании испарителя при протекании электрического тока. В установку могут быть интегрированы несколько резистивных испарителей, что позволяет формировать покрытия из нескольких слоёв.

	Модель	Размеры держателя подложки (мм)	Скорость вращения держателя (об/мин)	Т держателя (°C)	T испарителей (°C)	Вакуум (Па)	Размеры камеры (мм)	Материал камеры
Установки с одним испарителем
	CY-EVP170S-1S-A	Ø60	0 — 20	-	1*≤1700	5,0×10-5	Ø170x210	Нерж. сталь
	CY-EVZ180-I-H-SS	Ø60	0 — 20	-	1*≤1700	5,0×10-5	Ø180x210	Нерж. сталь
	CY-EVZ180-I-H-Q	Ø60	0 — 20	-	1*≤1700	1,0×10-4	Ø180x200	Кварц
	CY-EVZ254-I-H-SS	Ø100	0 — 20	-	1*≤1700	5,0×10-5	Ø254x300	Нерж. сталь
Установки с двумя испарителями
	CY-EVP170S-2S-A	Ø60	0 — 20	-	2*≤1700	5,0×10-4	Ø170x210	Нерж. сталь
	CY-EVP195S-1S-LT	Ø100, Лифт по высоте	0 — 20	-	2*≤1700	5,0×10-4	Ø195x350	Нерж. сталь
	CY-EVP195S-2S-WT	Ø100	0 — 20	Охлаждение водой	2*≤1700	5,0×10-4	Ø195x350	Нерж. сталь
	CY-EVZ254-II-HH-SS	Ø100	0 — 20	-	2*≤1700	5,0×10-4	Ø254x300	Нерж. сталь
	CY-EVH300-II-HH-SS	Ø150	0 — 20	≤ 500	2*≤1700	5,0×10-5	Ø300x400	Нерж. сталь
Установки с тремя испарителями
	CY-EVZ254-III-H-SS	Ø60	0 — 20	≤ 300	3*≤1700	5,0×10-4	Ø254x300	Нерж. сталь
	CY-EVH300-III-HHH-SS	Ø150	0 — 20	≤ 500	3*≤1700	5,0×10-5	Ø300x400	Нерж. сталь
	CY-EVH500-III-HHH-SS	Ø150	0 — 20	≤ 500	3*≤1700	5,0×10-5	Ø500x700	Нерж. сталь
Установки с тремя испарителями
	GSL-1800X-ZF4	Ø100	0 — 20	≤ 600	4*≤1700	5,0×10-7	Ø280x375	Нерж. сталь
	CY-EVH325-IIII-HHHH-SS	Ø150	0 — 20	≤ 500	4*≤1700	5,0×10-5	Ø325x510	Нерж. сталь
Установки с шестью испарителями
	CY-EVH400-VI.-HHHOOOO-SS-STX	20x20	0 — 30	≤ 500	2≤1700 + 4≤ 500	5,0×10-5	Ø400x480	Нерж. сталь