Установки плазменного напыления

Производитель: Zhengzhou CY Scientific Instrument Co., Ltd.

Метод плазменного распыления мишеней даёт возможность наносить покрытия из тугоплавких и неплавящихся материалов. Он позволяет распылять практически все металлы, сплавы и другие материалы, включая химические соединения. Одновременное распыление нескольких независимых мишеней позволяет формировать многокомпонентные покрытия, а скорость напыления из каждой мишени можно регулировать независимо.

	Модель	Ø мишеней (мм)	Ø держателя (мм)	Скорость вращения держателя (об/мин)	Т держателя (°C)	Ток разряда (мА)	Напряжение (В)	Вакуум (Па)
Установки с одной мишенью
	CY-GSL1100X-SPC16	45	50	-	-	50	3000	1
	CY-PSP180G-1TA-RSH	50	100	0 — 20	≤ 500	50	1200	0,1
	CY-PSP180G-1TA-RS	50	100	0 — 20	-	50	1200	0,1
	CY-PSP180G-1TA	50	100	-	-	50	1200	0,1
Установки с двумя мишенями
	CY-PLZ180-II-DC-Q	50	60	0 — 20	-	50	1200	0,1
	CY-PSP180G-2TA-RSH	50	100	0 — 20	≤ 500	50	1200	0,1
	CY-PSP180G-2TA-RS	50	100	0 — 20	-	50	1200	0,1
	CY-PSP180G-2TA	50	100	-	-	50	1200	0,1
Установки с тремя мишенями
	CY-GSC1100X-SPC16	47	50	-	≤ 500	40	1600	0,1
	CY-PSP180G-3TA-RSH	50	100	0 — 20	≤ 500	50	1200	0,1
	CY-PSP180G-3TA-RS	50	100	0 — 20	-	50	1200	0,1
	CY-PSP180G-3TA	50	100	-	-	50	1200	0,1