Метод HFCVD не требует сложных плазменных систем, что делает его относительно недорогим и удобным для промышленного применения.
Также, преимуществом метода является возможность наносить покрытия на изделия сложной формы (отверстия, выступы).
Технические характеристики:
| Температура нити (°C) |
2500 |
| Температура подложки (°C) |
600 |