В трёхканальную систему подачи газа печи интегрирован испаритель жидкости с датчиками контроля температуры и влажности, что позволяет
получить заданные концентрацию газовай смеси и влажность. Применяется в процессах CVD с транспортировкой жидких прекурсоров.
На торцах рабочей трубы установлены газоплотные фланцы из нержавеющей стали с вакуумной арматурой для подключения к вакуумному насосу и газовой линии.
- Максимальная температура 1200 °C
- Внешний диаметр кварцевой рабочей трубы 80 мм
- Обогреваемая длина 200+200 мм
- Объём испарителя 300 мл
- Температура оболочки испарителя ≤ 250°C
- Диапазон конроля влажности - 0-100%
- Малошумная работа системы нагрева с полупроводниковыми реле
- Компактный контроллер с графической сенсорной панелью, 30 сегментов в программе
- Рекомендованная максимальная рабочая температура на 100 °C ниже максимальной