Печи быстрого отжига с ИК нагревом

Печи быстрого отжига применяются в краткосрочных процессах, когда требуется быстрое изменение температуры.

Печи быстрого отжига (RTP) для пластин
Трубчатые печи быстрого отжига

Печи быстрого отжига (RTP) для пластин

Печи быстрого отжига (RTP) для пластин применяются в полупроводниковой промышленности в таких процессах как ионная имплантация (легирование), создание оксидных слоёв (термическое окисление).

Максимальная температура 1000 °C, 1200 °C, 1250 °C
Максимальная диаметр пластин 100 мм, 150 мм, 200 мм, 300 мм

Трубчатые печи быстрого отжига (RTP)

Трубчатые быстрого отжига (RTP) применяются в краткосрочных процессах с быстрым изменением температуры, когда не требуется высокий вакуум.

Максимальная температура 1000 °C
Диаметр рабочей трубы 100 мм, 120 мм, 180 мм, 200 мм